维修销售BUSCH普旭COBRA BC系列干式螺杆泵 普旭螺杆泵维修销售专家
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维修销售BUSCH普旭COBRA BC系列干式螺杆泵,普旭螺杆泵维修销售专家,维修销售BUSCH普旭干式螺杆泵BC 0100 E、BC 0101
F、BC 1000 F、 BC 2000 F等型号。
COBRA BC 1000 F 和 BC 2000 F 是 久经考验的 COBRA BC
系列中的两款干式螺杆真空泵。泵速快、氢抽吸量高使得它们成为光伏电池、平板显示器和半导体等苛刻生产流程的理想之选。
COBRA BC 1000 F 和 BC 2000 F 配备了高效电机,拥有待机模式,可以实现最佳节能潜力。
它们结构紧凑,需要空间小,极低的能源需求也将运营成本降到最低。COBRA BC
真空泵使用寿命长,进一步削减了总成本。将简单、快捷的将这些螺杆真空泵改装到现有系统中。
应用
• 高密度等离子体 CVD (HDP CVD)
• 快速热处理 (RTP)
• 次常压 CVD (SACVD)
• 金属有机 CVD (MOCVD)
• 等离子体增强 CVD (PECVD)
• 低压 CVD (LPCVD)
• 原子层沉积 (ALD)
• 负荷锁定应用
技术参数
COBRA BC 0100 E 结构紧凑,需要空间小,极低的能源需求也将运营成本降到最低。
应用
• 高密度等离子体 CVD (HDP CVD)
• 快速热处理 (RTP)
• 次常压 CVD (SACVD)
• 金属有机 CVD (MOCVD)
• 等离子体增强 CVD (PECVD)
• 低压 CVD (LPCVD)
• 原子层沉积 (ALD)
• 负荷锁定应用
COBRA BC0101 F是COBRA 系列干式螺杆真空泵组合,提供了一个紧凑的最先进的负载锁解决方案要求太阳能、平板和半导体应用程序。这种真空泵最佳抽速结合优秀的产生其独特的螺旋泵平均故障间隔时间为中心的设计。