维修销售普旭COBRA BA 0100 B单级双螺杆泵 BUSCH普旭单级双螺杆泵维修销售专家
维修销售普旭COBRA BA 0100 B单级双螺杆泵 BUSCH普旭单级双螺杆泵维修销售专家
COBRA BA 0100 B
是久经考验的干式螺杆真空泵,用于疏散负载锁定腔及光伏电池、平板显示器和半导体等其他苛刻的生产流程。该真空泵在性能级别方面具有空气冷却高效、泵速最高的特点,是所有要求高效、快速和稳定真空生成应用的理想之选。COBRA
真空泵采用的是无油和非接触式技术,能够抽空含颗粒的介质。
COBRA BA 0100 B 配备了高效电机,拥有待机模式,可以实现最佳节能潜力。
COBRA BA 0100 B 结构紧凑,需要空间小,极低的能源需求也将运营成本降到最低。
应用
• 高密度等离子体 CVD (HDP CVD)
• 快速热处理 (RTP)
• 次常压 CVD (SACVD)
• 金属有机 CVD (MOCVD)
• 等离子体增强 CVD (PECVD)
• 低压 CVD (LPCVD)
• 原子层沉积 (ALD)
• 负荷锁定应用